用語集 - フォトリソグラフィー

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技術専門用語の解説集です。

フォトリソグラフィー
フォトマスクを介して光(主に紫外線)を照射することで、フォトマスクのパターンを基板表面に転写する技術。光を用いてパターンを転写するために、予め基板表面に感光材を薄く均一に塗布しておく。感光材の種類にはネガ型とポジ型がある。

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