用語集 - スパッタリング法

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技術専門用語の解説集です。

スパッタリング法
真空雰囲気下で加速した粒子(Arイオンなど)を物体表面に衝突させることで、物体から原子が飛び出す現象。物体の近傍に基板を設置しておけば、飛び出した物体原子を基板上に付着させることができる。ガスバリア膜、各種金属膜、透明導電膜など広範な用途に活用されている。

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