用語集 - 真空蒸着法

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技術専門用語の解説集です。

真空蒸着法
金属または非金属を真空中で加熱・蒸発させて、プラスチックフィルムなどの様々な基板上に薄膜として堆積させる方法。真空度、基板温度。基板材質、蒸着条件を制御することによって膜構造を制御することが可能である。ガスバリア膜などの製法の一つである。

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