用語集 - 化学気相堆積法(CVD)

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技術専門用語の解説集です。

化学気相堆積法(CVD)
反応性ガスを加熱した基板付近に流し、分解、酸化還元、置換反応などにより生じた生成物を基板上に堆積させる方法。方式には、熱CVDやプラズマCVDなどがある。

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